等離子清洗機(plasmacleaner)也叫等離子清潔機，或者等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術，通過對氣體施加足夠的能量，使之離化成等離子狀態。依靠等離子體中活性離子的“活化作用”達到去除物體表面污漬的目的。等離子清洗機外接一臺真空泵，工作時清洗腔內的等離子體輕柔的沖刷被清洗物表面，短時間的清洗可以使有機污染物被*的清洗掉，同時污染物被真空泵抽走，清洗程度能達到分子級。有效避免了因液體清洗介質對清洗物帶來的二次污染。
 

　　工作原理：
 

　　等離子清洗機采用氣體作為清洗介質，通過化學反應或物理反應，達到清洗目的。
 

　　(1)化學反應
 

　　在化學反應里常用的氣體有氫氣(H2)、氧氣(O2)、甲烷(CH4)等，其反應機理主要是利用等離子體里的自由基與材料表面做化學反應。下圖為氧等離子體去除有機物的反應過程。
 

　　(2)物理反應
 

　　常見的氣體為氬氣，氬離子在自偏壓或外加偏壓作用下，被加速產生動能，轟擊放在負電極上的被清洗工件表面，一般用于去除氧化物、環氧樹脂或者微顆粒污染物，同時進行表面能活化。反應過程如下：
 

　　風險辨識如下：
 

　　(1)清洗介質的泄漏風險
 

　　清洗介質一般為氣體，常使用氣瓶，通過管道送至設備使用，如果發生氣瓶或送氣管道、用氣設備的泄漏，可能會發生事故，如果使用氫氣、甲烷等易燃易爆氣體，室內有明火、靜電等可能發生火災、爆炸事故；如果使用氬氣，室內通風不良，可能發生窒息事故；如果使用氧氣，氧氣屬于氧化性氣體，會增加可燃物的易燃性，如果室內氧氣濃度過高，可能會發生火災事故。
 

　　(2)設備觸電風險
 

　　1)電氣設施線路絕緣因擊穿、老化、腐蝕、機械損壞等失效。
 

　　2)未裝設漏電保護裝置或漏電保護裝置失效。
 

　　管控措施：
 

　　(1)防火、防爆、防窒息措施
 

　　1)規范氣瓶使用，氣瓶附件應齊全，并采取防止傾倒的措施。氣瓶應定期檢測，確保在有效期內。供氣管道與用氣設備連接牢固。
 

　　2)如使用氧氣，氣瓶閥、接頭、減壓器、軟管及設備必須與油、潤滑脂及其它可燃物或相隔離。嚴禁用沾有油污的手、或帶有油跡的手套去觸碰氧氣瓶或氧氣設備。如使用氫氣，建議在使用設備附近設置氫氣泄漏報警器。
 

　　3)保持室內通風良好，通風不良的應加裝機械排風。
 

　　(2)防觸電措施
 

　　設備應接地，電源線無破損、老化現象。