經常有客戶在使用等離子清洗機對產品進行產品處理時會出現產品變色的情況出現，尤其是在半導體封裝鍵合元器件上出現的頻率很大。今天就讓我們來分析一下是什么原因導致了等離子清洗后產品變色。
 

　　等離子體被稱為“物質的第四態”。我們通常認知和接觸的物質狀態有三種：氣態、液態和固態，同一種物質所含能量不同時，會在三種狀態之間相互轉換，z低能量狀態是固態，固態吸收能量轉化成液態，液態吸收能量轉化成氣態，氣態是三個狀態中能量高的。氣態物質吸收更多的能量，就會產生物質的第四態，也就是等離子體。等離子體呈電中性，由電子、離子、光子和中性粒子組成，其中電子和正離子的數量基本相等，但等離子體并是穩定的物質狀態，當使其電離的能量消失，各種粒子會重新結合，形成原來的氣態分子。
 

　　低溫等離子體中存在著大量種類繁多的活性粒子，它們比通常的化學反應所產生的活性粒子活性更強、種類更多，這些活性粒子很容易和材料表面發生反應，因此常被用來對材料表面進行清洗或改性。
 

　　等離子體清洗的機理主要是與材料表面發生反應，這種反應分為兩種：一種是粒子的化學作用，主要是自由基活性粒子;另一種是粒子的物理作用，主要是正離子和電子。
 

　　氣體放電產生的等離子體中有電子、正離子、亞穩態的分子和原子等，當被清洗間浸沒到等離子中時，等離子體中的化學活性粒子就與材料表面的污染物發生化學反應，如果是氫離子，反應為還原反應;如果是氧離子，則發生氧化反應。
 

　　導致等離子清洗產品變色原因及解決辦法如下：
 

　　被清洗件表面變色的主要原因有兩點，一是因射頻頻率、功率選擇不當，導致零件整體溫度過高，造成材料變性或整體氧化;二是因零件形狀復雜，等離子體在零件局部形成了熱點，導致局部溫度過高，造成局部變性或氧化。
 

　　總的來說變色是由于產品表面被氧化導致，解決辦法如下：如果產品易被氧化，一般可以充入氬氣和氫氣的混合氣體， 把氫氣比例控制在一定范圍內，兼顧安全性和效率的平衡，易被氧化的產品，應該避免清洗腔室有氧氣的存在，可以通入氫氣將氧氣還原掉。此外功率過大溫度過高導致的產品變色，可以適當調整降低功率，將其控制在一個合適的范圍內。