抽真空速度是決定一臺(tái)真空等離子清洗機(jī)的工作效率的重要因素之一，抽真空速度的快慢主要是取決于真空泵。當(dāng)所需處理產(chǎn)品的尺寸較大，必須使用大腔體(80L以上)的真空等離子清洗機(jī)時(shí)，如果只使用一臺(tái)真空泵的話，抽真空速度會(huì)比較慢，抽真空所需的時(shí)間會(huì)很長。因此，大腔體的真空等離子清洗機(jī)我們通常會(huì)配備真空泵組來提升抽真空的速度。今天我們就來介紹一下等離子清洗機(jī)上所用到的幾類真空泵組以及在選擇真空泵組時(shí)的注意點(diǎn)。
 

　　真空泵組是將2臺(tái)或2臺(tái)以上的真空泵組合在一起，形成一個(gè)串聯(lián)的結(jié)構(gòu)，能夠大大加快抽真空的速度。在真空等離子清洗機(jī)上用到的真空泵組一般有三大類，一種是旋片式真空泵加上羅茨泵；另一種是干式真空泵+羅茨泵；后一種是機(jī)械泵加上分子泵。
 

　　1旋片式真空泵+羅茨泵
 

　　旋片式真空泵加上羅茨泵組成的泵組又可以稱為油式泵組，這種泵組是我們真空等離子清洗機(jī)中常見的一種泵組，它是由旋片式真空泵作為底泵，外加羅茨泵作為次級(jí)泵組合而成的泵組。這類泵組一般運(yùn)用于對潔凈度要求不是很高且腔體較大的真空等離子清洗機(jī)上。
 

　　旋片式真空泵加上羅茨泵作為真空等離子清洗機(jī)中常見的一種泵組，其優(yōu)點(diǎn)有很多：第1，能夠大幅度加大抽速，減少抽真空的時(shí)間；第2，結(jié)構(gòu)較為簡單，維護(hù)方便；第3，性價(jià)比較高，具有價(jià)格優(yōu)勢。
 

　　2干式螺桿真空泵+羅茨泵
 

　　干式螺桿真空泵加上羅茨泵組合成干式泵組，這種泵組是將干式螺桿真空泵作為底泵，羅茨泵作為次級(jí)泵組合成的泵組。因?yàn)槎际怯筛墒秸婵毡媒M合而成的，所以不會(huì)出現(xiàn)油污染，潔凈度相較于油式泵組更高一些。干式泵組一般運(yùn)用于生物醫(yī)療領(lǐng)域、半導(dǎo)體領(lǐng)域以及航天航空領(lǐng)域等潔凈度要求較高的行業(yè)。
 

　　干式泵組作為一款性能*的泵組，它的優(yōu)點(diǎn)還真不少：第1，潔凈度高，避免了油污染；第2，抽真空速度快，提高了工作效率；第3，工作時(shí)性能穩(wěn)定，聲音低；第4，對工作環(huán)境的要求低，能應(yīng)對各種惡劣的工作環(huán)境。
 

　　3機(jī)械泵+分子泵
 

　　機(jī)械泵加上分子泵就組成了一款特殊的泵組-分子泵組。使用分子泵組能夠形成清潔的超高真空環(huán)境，所以分子泵組一般是運(yùn)用在鍍膜機(jī)、刻蝕機(jī)等對真空環(huán)境要求高的設(shè)備上。
 

　　分子泵組這么厲害，那它又有哪些優(yōu)點(diǎn)呢？第1，分子泵組啟動(dòng)快，而且抽速非常快；第2，分子泵組是不使用油的，不會(huì)產(chǎn)生油污染；第3，維護(hù)簡單。