等離子清洗機在清洗物體前首先要對清洗的物體和污物進行分析，然后進行氣體的選配。依據等離子的作用原理可將選配氣體分為兩類，一類是氫氣和氧氣等反應性氣體，其中氫氣主要應用于清洗金屬表面的氧化物，發生還原反應。清洗機通氧氣主要應用于清洗物體表面的有機物，發生氧化反應。
 

　　另一類是等離子清洗機通氬氣、氦氣和氮氣等非反應性氣體，氮等離子處理能提高材料的硬度和耐磨性。氬氣和氦氣性質穩定，并且放電電壓低(氬原子的電離能E為15.57 eV)易形成亞穩態的原子。

 

　　一方面等離子清洗機利用其高能粒子的物理作用清洗易被氧化或還原的物件, Ar+轟擊污物形成揮發性污物被真空泵抽走，避免了表面材料發生反應;另一方面利用氬氣易形成亞穩態的原子，再與氧氣氫氣分子碰撞時發生電荷的轉換和再結合，形成氧氫活性原子作用于物體表面。
 

　　等離子清洗機在清洗表面氧化物時用純氫雖然效率高，但這里主要考慮放電的穩定性和安全，在清洗機應用時選用氬氫混合較為合適，另外對于材料易氧化或易還原的材料清洗機也可以采用顛倒氧氣和氬氫氣體的清洗順序來達到清洗*的目的。
 

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